PECVD gaasi- ja voolujuhtimissüsteemid

PECVD süsteemi gaasivarustus toimub peaaegu alati gaasiballoonidega, mis on paigutatud paljude turvaseadmetega gaasikappi ja toimetatakse PECVD protsessikambrisse läbi gaasikapil ja torudel oleva juhtpaneeli.

Sadestamise ajal mõjutab reaktsioonigaasi kogus sadestumise kiirust ja selle ühtlust, seega on vaja gaasivoolu rangelt kontrollida ja täpse juhtimise saavutamiseks kasutatakse tavaliselt massivoolumõõturit.

IKS PVD ettevõte, dekoratiivkatmismasin, tööriistade katmismasin, DLC-katmismasin, optiline katmismasin, PVD vaakumkatmisliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võtke meiega kohe ühendust, e-post: iks.pvd@foxmail.com