PECVD-seadmete levinumad probleemid ja ravimeetmed – mitte helendama
Jul 01, 2023| Helendamata jätmise põhjused ja ravimeetmed:
(1) Kui RF-toiteallikas on vigane, kontrollige, kas raadiosagedusallika väljundvõimsus on normaalne.
(2) Reaktsioonigaasi sisselaske maht on väike, kontrollige, kas gaasi voolumõõtur on normaalne, kui normaalne, suurendage katse jaoks sisselaske mahtu.
(3) õõnsuse plaadi puhtus ei ole piisav, kasutage õõnsuse ülemise ja alumise plaadi maandustakistuse mõõtmiseks multimeetrit, normaalväärtus peaks olema üle kümnete megaoomide, kui see on ebanormaalne, puhastage õõnsuse plaat.
(4) Kui RF-sobitusahel on vigane, kontrollige, kas RF-allika peegeldunud võimsus on normaalses vahemikus. Kui see on ebanormaalne, kontrollige, kas sobitusahela kondensaator ja induktiivsus on kahjustatud.
(5) Vaakumaste on liiga halb, kontrollige, kas õõnsuse vaakumaste on normaalne.
IKS PVD ettevõte, dekoratiivkatmismasin, tööriistade katmismasin, DLC-katmismasin, optiline katmismasin, PVD vaakumkatmisliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võtke meiega kohe ühendust, e-post: iks.pvd@foxmail.com
