Vaakumõõturite klassifikatsioonid
Jul 03, 2018| 1. klassifitseeritud vaakumkalibreerimismeetodi järgi
(1) absoluutne vaakumõõtur: lugeda otse gaasirõhku. Selle rõhu reageeringu (skaala) saab arvutada tema enda geomeetria abil või määrata mõõtejõu abil. Absoluutsed vaakumõõturid on kõigi gaaside puhul täpne. U-tüüpi naelamõõdikud, tihendusmõõturid ja soojuskiirgusgabariidid kuuluvad absoluutseks vaakumõõturiteks.
(2) Suhteline vaakumõõtur: rõhku mõõdetakse gaasirõhuga seotud suuruse järgi. Seda ei saa vähendada lihtsa arvutusega ja seda tuleb kalibreerida skaalaks. Suhteline vaakumgisti koosneb tavaliselt vaakumõõturist (või gabariidipeast), mis toimib andurina ja mõõtevahendina, mida kasutatakse juhtimiseks ja indikaatoriks. Lugemine on seotud gaasitüübiga. Suhtelist vaakumõõturit on palju, näiteks soojusjuhtivusega vaakumõõturid ja ioniseerimisvaakumõõturid.
2. Klassifitseerimine vaakumõõturite mõõtmise põhimõttega
2.1. Otse mõõtmisega vaakumõõtur
Selline vaakumgur mõõdab otseselt jõudu pindalaühiku kohta, sealhulgas:
(1) Staatiline vedeliku taseme vaakumgur: rõhku mõõdetakse vedeliku taseme erinevusega U-kujulise toru mõlemas otsas.
(2) Elastse elemendi vaakumgur: Vaakumiga ühendatud mahuti pind on survet elastne deformeerumise tekitamiseks. Surve väärtuse suurust mõõdetakse elastse deformatsiooniga.
2.2. Kaudne mõõtmine vaakummõõtur
Kui rõhk on 10 -1 Pa, siis 1 cm2 pinnale mõjutav jõud on ainult 10 -5 N ja seda väikest jõudu on ilmselt raske mõõta. Kuid rõhu muutust saab mõõta kaudselt madala rõhu all gaasirõhuga seotud füüsikaliste koguste muutuste põhjal. Selline vaakumõõtja, sealhulgas:
(1) Kompressioonimõõtur: põhimõte on kohaldada Boyle'i seadust U-toru baasil, see tähendab, et teatud koguses katsetatavat gaasi töödeldakse survet suurendava isotermilise survega, nii et seda mõõdetakse U-toru vaakumgur. Seejärel arvutage mõõdetud rõhk ruumala ja rõhu vahelise suhte abil.
(2) Soojusjuhtivusega vaakumgarantii: see on tehtud põhimõttel, et madala rõhu all olev gaasi soojusjuhtivus on seotud rõhuga. Tavaliselt kasutatavad soojusjuhtivusega vaakumõõturid on takistuse vaakumõõturid ja termopaari vaakumõõturid.
(3) Soojuskiirgus vaakumgarantii: kasutatakse soojuskiirguse ja -rõhu põhimõtet.
(4) Ionisatsiooni vaakumgarakteristik: põhimõte, et gaasimolekulid mõjutavad ja ioniseerivad laetud osakesed madala rõhu all ja tekkinud ioonivool muutub elektrienergiaga. Ionisatsiooni vaakumõõturid hõlmavad kuuma katoodi ioniseerimise vaakumõõturit, külma katoodi ioniseerimise vaakumõõturit, radioaktiivse ioniseerimise vaakumõõturit ja nii edasi.
(5) Voolutoru indikaator: Vaakumikiirust mõõdetakse gaaslahendusastme, väljalaskevärvi ja rõhu olemuse järgi ning üldjuhul saab seda kvalitatiivseks mõõtmiseks kasutada.
(6) Viskoosne vaakumõõtur: rõhu mõõtmiseks kasutatakse välispidise hõõrdumise põhimõtet. Sealhulgas diafragma vaakumgur ja magnetvedrustuse rootor vaakumgur.
(7) Väli indutseeritud mikroskoopia: rõhk arvutatakse adsorptsiooni ja desorptsiooni aja ja rõhu vahelise suhte alusel.
(8) Osalise rõhu vaakumgariga: segussgaasi osalise rõhu mõõtmiseks kasutatakse massispektromeetria tehnikat. Tavaliselt kasutatavad mõõteriistad on kvadrupoolsed massispektromeetrid, tsüklotron massispektromeetrid ja raadiosageduslikud massispektromeetrid.