HIPIMS-tehnoloogia lühikirjeldus

Magnetroni pihustamistehnoloogiat kasutatakse laialdaselt katendi valdkonnas. Tavaliselt kasutatakse nii dekoratiivse pinnakattevahendite kui ka tööriistade katmiseks. Kuid magnetroni pihustamise tehnoloogial on veel palju piiranguid. Näiteks mõjutab magnetroni pritsimise sihtmärkide võimsus tihedust sihtmärgi soojuskoormust. Suure pihustusvoolu korral pääseb ülemäärane positiivne ioon sihtmärgile, mis võib põhjustada pihustamise eesmärgi ülekuumenemise ja põletamise, pealegi on pihustamise energia piiratud ja metalli ionisatsioonikiirus ei ole kõrge.

Viimastel aastatel on koduvõrgus ja välismaal välja töötatud suure võimsusega impulss-magnetronipuhke (HiPIMS) tehnoloogia, mis nõrgendab neid piiranguid oluliselt. HiPIMSi tippvõimsus on ligikaudu 100 korda tavalisest magnetronipurreteeritusest ja pihustusmaterjalil on väga kõrge ionisatsioonikiirus, ka see väga ioniseeritud kiir ei sisalda suuri osakesi, mistõttu HiPIMS saab kergesti saada kvaliteetset kilekihti .

Kuna impulsi tööaeg on mõnesaja mikrosekundi jooksul, on HiPIMSi keskmine võimsus samaväärne tavapärase magnetronipurseerimisega, nii et magnetroni sihtmärgi jahutamise nõue ei suurene. Kuigi suure võimsusega impulssmagnetrooni pihustuse hetkvõimsus on väga kõrge, pole selle keskmine võimsus liiga kõrge, mistõttu seda saab laialdaselt reklaamida.