Elektronkiirte aurustamise katteseadmed
EB PVD optilise kattega masin, rakendused: prillid, peegeldav peegel, mobiiltelefoni tagapaneel, kaitsekate, optiline side, optiline ekraan jne.
- Toote tutvustus
IKS-OPT2700 elektronkiire aurustamise optiline kate
l Rakendused:
Prillid, peegeldav peegel, mobiiltelefoni tagaplaat, kaitsekate, optiline side, optiline ekraan jne
l Varustuse lühikokkuvõte
IKS-OPT2700 on mõeldud suure pindalaga optilise kile katmiseks. Katteseadme süsteem koosneb vaakumkambrist, vaakumpumbast, vaakumtuvastamisest ja -juhtimisest, substraadiküttesüsteemist, elektronkiirte aurustamissüsteemist, ioonallikaga abistatavast sadestamissüsteemist, resistentsuse aurustamissüsteemist, kile paksuse seiresüsteemist, töögaasi mahu voolu reguleerimissüsteemist, töö PLC poolt juhitav tükike pöörlemissüsteem ja automaatne kate.
Aurustusmaterjali kasutatakse tavaliselt haruldaste metallide, näiteks ütriumfluoriidi, praseodüümfluoriidi, germaaniumi, tsinksulfiidi, magneesiumfluoriidi, titaandioksiidi, ränidioksiidi, tsirkooniumoksiidi, koobalti, galliumi, seleeni ja muude metallide puhul. Helkurite optilistes materjalides kasutatakse tavaliselt vask, molübdeen, räni, germanium ja muud metallid.
See võib olla nähtava valguse värvikile, alumiiniumist peegeldava kile, AF-sõrmejälgede kile, madala sulamistemperatuuriga orgaanilise kile, nähtava valguse spektroskoopilise kile, nähtava valgust peegeldava kilega jne.
l Seadmete omadused
IKS-OPT2700 suure pindalaga optilise kile katmise süsteem, kasutades optimeerimise vaakumkambri struktuuri, uuenduslikku krüogeenset pumba paigutust, stabiilse tööosaga pöörlevat raami disaini, täiustatud elektronkiirte aurustamissüsteemi, reguleeritavat ühtsuse reguleerimisseadet ja humaniseeritud automaatset katmisprotsessi juhtimist, et saavutada stabiilne vaakumprotsessikeskkond, mis sai parima katmisprotsessi, sai kvaliteetseid kaetud tooteid.
1. Koja suurus Ф2700 × H1670 | 8. põrandapind: L6 × w5.5 × H3.5m |
2. Vaakum: lõplik vaakum: 6 × 10 -4 Pa ( 24 tundi ilma koormata ) | 9.Kaal: 8000 kg, põranda kaal weight 1000kg / m2 |
3. Lekked: ＜ 4 × 10 -3 Pa × L / S (heeliumi lekkekontroll) | 10. Temperatuur: toatemperatuuril kuni 250 ℃ , temperatuuri ühtlikkus ± 5% |
4. Töö vaakum: 6 × 10 -3 Pa ( automaatne käivitamine ) | 11.Toiteallikas: kolmefaasiline, 380V ， 50 Hz ， 60-100KW |
5.Väike vaakum: 10 minutit ＜ 10Pa | 12.Vee jahtumine: kambervool ＞ 4000L / H , pumba vooluhulk ＞ 1800L / H, külmutuskompressor ＞ 1600L / H |
6. Kõrge vaakum: 6 minutit ＜ 8 × 10 -3 Pa | 13.Vesi vesi: aurustumine Source1800L / H, 35-60 ℃ |
7. Vaakumimõõtmine: kogu protsessi jälgimine ja reaalajas kogumine |
l Tehnilised parameetrid
Kile paksuse jälgimine
| 1.PLC integreeritud kontroll 2. Peene kile sadestamine, 0,01 nm / s 3. Kiire küps vastav sidumine elektronipüstoliga |
Voolu juhtimine | Kontrollvahemik: 3 ~ 100sccm ， 5-500sccm, täpne ühendus iooniallikaga, sünkroonne juhtimine, voolu reguleerimine, Stabiilne väljund, stabiilne ioonenergia on stabiilne |
E-tala allikas | Tüüp: 10KW, A 270 kraadi läbipainde. Ripple alla 0,5%, täpne kontrollpunkti kuju ja suurus, süsteemi juhtimise stabiilsus ja suur täpsus. Püstolitüüp: volframniit, vastupidav tüüp |
Resistentsuse aurustamise allikas | Tüüp: Volframpaat aurustub kuumutamisel. Kogus: kaks elektroodide komplekti, vali paigaldus. Sobib spetsiaalseks katmisprotsessiks, püüdke funktsionaalsetele materjalidele või metallmaterjalidele saavutada aurustumise funktsiooni |
Ioni allikas | Tüüp: 4KW Hall ioonallikas, Kaugtule, lai Laienemisnurk, eemaldatav anood, hooldus ja puhastamine on väga lihtne |
Kontrollsüsteem | Arvuti liides: 17 tolli, 1 lukustus. TP puutetundlik ekraan: 15 omcjes.1set. Põhisüsteem: IKS Automaatne programmeeritav loogiline juhtimine. IKS PVD poolt välja töötatud automaatne protsessijuhtimissüsteem, see on arukas operatsioonisüsteem protsesside reaalajas salvestamiseks ja vigade tagasiside saamiseks. Täiuslik integreerimine, humaniseeritud disain ja personaliseeritud vajadused , operatsioonisüsteemi ohutu ja intelligentne disain toimimise kontroll. |
Ohutu disain | Peaahela kaitselüliti, maakaitse, komponendi ebanormaalne häire, süsteemi töö reaalajas jälgimine |
l Toote paremus
Tehnoloogiline innovatsioon
1. Toote mõistlik integreerimine ja tehnoloogiliste uuenduste tulemused, protsessi keskkonna parandamine, katmise süsteemi stabiilse toimimise saavutamiseks!
2. Toote struktuuri disaini innovatsioon on mõistlik, kindel, lühike, hooldus on mugav! (kasutaja hoiakute disain!)
3. Operatsiooni ja operatsioonisüsteemi innovatsiooni arendamine, lihtne toimimine, tõhus ja praktiline!
4. Tooted ja protsessitehnoloogia, et saavutada kvaliteetset katmisprotsessi, parandada tõhusust, ühtsust, suurepärast korratavust!
5. Saate saavutada intelligentset kontrolli kattesüsteemi toimimise üle!
6. Ohutussüsteemi optimeerimine, veaotsing, üksikasjalik lahendus!
7. Suur tõhusus, tootmise ja haldamise kulude vähendamine!
Tehnoloogiline omadus
1. Toote disain, täiusliku IKS tehnoloogia ja toote jõudluse sujuv dokkimine integreerimine, et luua usaldusväärne, stabiilne
Fikseeritud, turvaline ja intelligentne kattesüsteem!
2. Vaakumi omandamine, vaakumi kogumise süsteemi uuesti optimeeritud disain, et täita kiiret ja stabiilset vaakumikeskkonda!
3. Aurustumise allikas ja iooniallikas, mõistlik paigutus ja kvaliteetne töötlemistehnoloogia, tehnoloogia käivitamine protsessi saavutamiseks
Protsessi automaatne reguleerimine, elektronkiire uuenduslik struktuur ja täpne kiirus tagavad materjali ladestumise täpsema ja stabiilsema!
4. Automaatne juhtimissüsteem, uus ja täpne ja stabiilne süsteem! Lihtne seadistamine, lihtne kasutamine!
Kaetud toode
Kuum tags: elektronkiire aurustamise katte seadmed, Hiina, tootjad, tarnijad, osta, kohandatud, valmistatud Hiinas
