Puurid PVD vaakumkattemasinat
PVD kate külvikutele, freeslõikuritele, saelehtedele, lintsaelehtedele.TiN, TiCN, TiCrN, TiAlCN jne.
- Toote tutvustus
PVD kattemasina pilt
PVD kattemasina parameetrid
Kambri suurus | φ 1200 * H950 | efektiivne ruum | φ 650 * H600 |
substraadi maksimaalne läbimõõt * kogus | 150 * 12 个 | pumpamise aeg | atm kuni 6X10 -3 <15> |
tööpinge / sagedus | 380 V / 50 Hz | tõeline jõud | 70 kW |
Tehnoloogia | HCD + ARC | sihtkogus | 12tk |
ülim surve | 5,0 * 10 -4 Pa | lekkekiirus | 10 - 3 Pa / L |
standardkate | TiN 、 CrN 、 AlTiN 等 | valikuline kate | TiAlCrN jne. |
pöördlauastruktuur | alumine struktuur | kambri ehitus | Vertikaalne üheukseline |
Toiteallika tüüp | Kaare võimsus, impulsi nihkejõud, E-püssi jõud | Pumbasüsteem | Turbo molekulaarpump, Roots pump, monoblokkpump |
Katmistsükkel | 3-6 tundi / ahi | Üldine suurus | L4200 * W3200 * H2200MM |
Saagis / ahi | freeslõikur 10 * 70 880tk Nugaosakesed φ 18 * 6 6400 hobsφ 80 * 80 64 mudelid 500KG | vaste tingimus |
suruõhk - 4–6 KG / CM3
|
Kontrollimeetod | manuaal + poolautomaat +
/ puutetundlik ekraan + PLC Enda väljatöötatud katte tarkvara | töötav gaas | Ar 、 N 2 、 O 2 、 C 2 H 2 |
Märkus | Vaakumkambri suurust, üldist suurust, seadmete välimust saab kohandada vastavalt kliendi toodetele või spetsiaalsetele protsessinõuetele | ||
Kuum tags: puurid pvd vaakumkatte masin, Hiina, tootjad, tarnijad, osta, kohandatud, valmistatud Hiinas
