Massvooluhulgamõõtur
D07-7KM massvooluhulgamõõtja Sissejuhatus Massivooluhulgamõõtur (MFC) koosneb kolmest põhiseadmest: vooluhulga andur, vooluhulga jagaja möödaviik ja trükkplaat, kusjuures massivoolukiirused täpselt mõõdetakse, kuna gaasi maht on kõikunud temperatuuri muutuste tõttu. MFC kasutatakse laialdaselt valdkondades ...
- Toote tutvustus
Sissejuhatus
Massivooluhulgamõõtur (MFC) koosneb kolmest põhiseadmest: vooluhulga andur, vooluhulga jagaja möödaviik ja trükkplaat, mis täpselt mõõdab massi voolukiirust, vähendab gaasi mahu muutumist temperatuuri muutuste tõttu. MFC-d kasutatakse laialdaselt pooljuhtide ja IC-i valmistamisel, erilist materjaliteadust, keemiatööstust, petrooleumitööstust, farmaatsiatööstust, keskkonnakaitset, vaakumsüsteemide uurimist jne.
Tüüpiline rakendus
MFC tüüpilisteks rakendusteks on mikroelektroonilised protsessiseadmed, nagu difusioon, oksüdeerimine, epitaksia, CVD, plasma, söövitamine, pihustamine, ioonide implanteerimine ja muud väljakud, näiteks vaakum sadestamise seadmed, optiliste kiudude sulatamine, mikroreaktsiooniseadmed, segamise ja sobivusega gaasisüsteem , kapillaarvoolu kontrollsüsteem, gaasikromatograaf ja muud analüütilised instrumendid.
D07-7KM MFC-l on eelised: suure täpsusega, pika tööiga, suurepärase korratavuse, kiire reageerimise, pehme käivitamise, hea töökindluse, laialdase töörõhu vahemiku (hea töö kõrge rõhu või vaakumi korral), lihtne ja mugav töö jne. Seda saab paigaldada alati, kui see on vajalik ja ühendatud arvutiga automaatse juhtimise saavutamiseks.
Spetsifikatsioon
Vooluhulk | (20,30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM (0 ~ 1,2,3,5,10) SLM |
Täpsus | ± 1,5% FS |
Lineaarsus | ± 1% FS |
Korratavus | ± 0,2% FS |
Reaktsiooniaeg | ≤4 sek |
Temperatuuri koefitsient | Null: ≤ ± 0,1% FS / ℃; Span: ≤ 0,2% FS / ℃ |
Max rõhk | 3MPa |
Töötemperatuur | 5 ℃ ~ 45 ℃ |
Tihendmaterjal | Vitoon, neopreen |
Seadistus / väljundsignaal | 0V ~ + 5,00V (Sisendtakistus> 100K, väljundvool ≤3ma) |
Toiteallikas | + 15V 50mA -15V 50mA |
Elektriühendus | D alam 15 tk Emane |
Diferentsiaalrõhk | <0,01> |
Lekete määr | 1 × 10-8atm • cc / sec He (1 × 10-9 Pa • m3 / sec He) |
Standard ühine | SwagelokΦ8, SwagelokΦ6, SwagelokΦ3, Swagelok1 / 8 ", φ4 (sisemine) × 1 voolikupesa, VCR1 / 4", Swagelok1 / 4 ", φ6 (sisemine) × 1 vooliku ühendus |
Meedia | Kõik gaas |
Emi | CE |
Kaal | 0,92 kg |
Paigaldusmõõde
