
Ühilduvad vaakumõõturid ja kontrollerid CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar
SISSEJUHATUS INFICON SKY CDG045D manomeetrid on teie parim valik täpse kogurõhu mõõtmiseks ja juhtimiseks. CDG045D gabariidid on temperatuuri kontrollitud temperatuuril 45 ° C signaali parema stabiilsuse ja korratavuse saavutamiseks. Need on saadaval täisskaala ulatuses vahemikus 50 mTorr kuni 1000 torr, koos ...
- Toote tutvustus
SISSEJUHATUS
INFICON SKY CDG045D manomeetrid on teie parim valik täpse kogurõhu mõõtmiseks ja juhtimiseks. CDG045D gabariidid on temperatuuri kontrollitud temperatuuril 45 ° C signaali parema stabiilsuse ja korratavuse saavutamiseks. Need on saadaval täisskaala ulatuses vahemikus 50 mTorr kuni 1000 Torr koos kõigi tavapäraste äärikutüüpide ja väljundibusside liidesega ning annavad lineaarset 0 kuni 10 V gaasitüüpi sõltumatu rõhu signaali. INFICON'i mahtuvuse manomeetrid kasutavad ultrapuhtast alumiiniumoksiidi keraamilist membraani, mis on korrosioonikindel. Keraamilise anduri eelised on paremini signaali stabiilsus, kiirem atmosfääri taastamine, lühike soojenemisaeg ja erakordne eluiga. INFICON CDG on kõrgekvaliteedilised, kulutõhusad rõhuandurid nõudlike vaakum rakenduste jaoks.
INFICON SKY CDG045D mahutite membraanimõõturid on Oerlikon Leybold CTR 101 saatja otsene asendus. Hankige originaal manufactererist, pakkudes globaalset tuge ja lahendusi kõigile rakendustele.
Kasu
◆ Täielikult kooskõlas CTR 101 saatjatega
◆ Madalam CoO (omandi maksumus), 50% kiiremini soojenemine, energiasäästlik väikese energiatarve
◆ Lihtne integreerimine, lai valik täismassi, äärikuid ja liideseid, standard kahe seatud punktiga
◆ lihtne ühe nupuvajutusega või kaugjuhtimissignaaliga null käsk, reguleeritav nulljoone reguleerimine
◆ Diagnostiline port kiireks hoolduseks ja hoolduseks
◆ Kaheaastane garantii, pikem eluiga koos täiustatud küttesüsteemide ja gabariidikindlusega
◆ Pikaajaline kalibreerimine pole suurepärase signaali stabiilsuse ja korratavuse tõttu isegi karmides plasmarakendustes
◆ Vastavus ja standardid: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
TÜÜBILINE TAOTLUS
◆ Etch, CVD, PVD ja teised pooljuhtide tootmisprotsessid
◆ Keemilised ja söövitavad vaakumprotsessid
◆ Üldised õhukese kile ja vaakumprotsessid
◆ Katseseadmete seire standardandur vastavalt rahvusvahelistele standarditele
◆ jälgimismõõtmiste edastamise standard
SPETSIFIKATSIOON
Tüüp | 1000 Torr, 1100 mbar | 500 ... 1Torr / mbar | 0,5 ... 0,05 Torr / mbar | |
Täpsus | % lugemisest | 0,15 | 0,15 | 0,15 |
Temperatuuri mõju | ||||
nulli | protsent FS / ° C | 0,0025 | 0,0025 | 0,0025 |
spaniga | lugemis% / ° C | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
Resolutsioon | protsent FS | 0,003 | 0,003 | 0,003 |
Rõhk, maks. | kPa (absoluutne) | 400 | 260 | 130 |
Madalaim lugemine | protsent FS | 0,01 | 0,01 | 0,01 |
Madalaim soovitatav lugemine | protsent FS | 0,05 | 0,05 | 0,05 |
Madalaim soovitatav kontrollrõhk | protsent FS | 0,5 | 0,5 | 0,5 |
Temperatuur | ||||
Töö (ümbritsev) | ° C | +10 ... +40 | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
Bake out at äärik | ° C | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
Ladustamine | ° C | -20 ... +65 | -20 ... +65 | -20 ... +65 |
Toitepinge | +14 ... +30 VDC või ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC või ± 15 V (± 5%) | +14 ... +30 VDC või ± 15 V (± 5%) | |
Energiatarve | ||||
Kuumutamise ajal | W | ≤12 | ≤12 | ≤12 |
Töötemperatuuril | W | ≤8 | ≤8 | ≤8 |
Väljundsignaal (analoog) | V (dc) | 0 ... +10 | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
Reaktsiooniaeg | Prl | 30 | 30 | 130/30 |
Kaitseaste | IP 40 | IP 40 | IP 40 | |
Standardid | ||||
CE vastavus | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3, EN 61010 & RoHS | |
ETL sertifikaat | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | |
SEMI nõuetele vastavus | SEMI S2 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
Elektriühendus | D-sub, 15 pole, isane | D-sub, 15 pole, isane | D-sub, 15 pole, isane | |
Vali koht | ||||
Seadepunktide arv | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | 2 (SP1, SP2) | |
Relee kontakt | V (dc) | ≤30 | ≤30 | ≤30 |
Hüsterees | protsent FS | 1 | 1 | 1 |
Diagnostiline port | ||||
Protokoll | RS232-C | RS232-C | RS232-C | |
Loe | surve, staatus, ID | surve, staatus, ID | surve, staatus, ID | |
Seatud | seatud punktid, filter, null kohandada, tehaseseadete lähtestamine DC tasakaalus | seatud punktid, filter, null kohandada, tehaseseadete lähtestamine DC tasakaalus | seatud punktid, filter, null kohandada, tehaseseadete lähtestamine DC tasakaalus | |
Kokkupuutunud materjalid vaakum | lumiiniumoksiidkeraamika (AI2O3), roostevaba teras (AISI 316L) | lumiiniumoksiidkeraamika (AI 2 O 3 ), roostevaba teras (AISI 316L ) | lumiiniumoksiidkeraamika (AI 2 O 3 ), roostevaba teras (AISI 316L ) | |
Sisemine maht | ||||
1/2 "toru | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
DN 16 ISO KF | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
DN 16 CF-R | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
8 VCR® | cm³ (in.³) | 4,2 (0,26) | ||
Kuum tags: ühilduvad vaakumõõturid ja kontrollerid cdg045d 0,05 ~ 1000torr / mbar, Hiina, tootjad, tarnijad, ost, kohandatud, valmistatud Hiinas
Ju gjithashtu mund të pëlqeni









