Ühilduvad vaakumõõturid ja kontrollerid CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar

Ühilduvad vaakumõõturid ja kontrollerid CDG045D 0,05 ~ 1000Torr / Mbar

SISSEJUHATUS INFICON SKY CDG045D manomeetrid on teie parim valik täpse kogurõhu mõõtmiseks ja juhtimiseks. CDG045D gabariidid on temperatuuri kontrollitud temperatuuril 45 ° C signaali parema stabiilsuse ja korratavuse saavutamiseks. Need on saadaval täisskaala ulatuses vahemikus 50 mTorr kuni 1000 torr, koos ...

  • Toote tutvustus

 


SISSEJUHATUS


INFICON SKY CDG045D manomeetrid on teie parim valik täpse kogurõhu mõõtmiseks ja juhtimiseks. CDG045D gabariidid on temperatuuri kontrollitud temperatuuril 45 ° C signaali parema stabiilsuse ja korratavuse saavutamiseks. Need on saadaval täisskaala ulatuses vahemikus 50 mTorr kuni 1000 Torr koos kõigi tavapäraste äärikutüüpide ja väljundibusside liidesega ning annavad lineaarset 0 kuni 10 V gaasitüüpi sõltumatu rõhu signaali. INFICON'i mahtuvuse manomeetrid kasutavad ultrapuhtast alumiiniumoksiidi keraamilist membraani, mis on korrosioonikindel. Keraamilise anduri eelised on paremini signaali stabiilsus, kiirem atmosfääri taastamine, lühike soojenemisaeg ja erakordne eluiga. INFICON CDG on kõrgekvaliteedilised, kulutõhusad rõhuandurid nõudlike vaakum rakenduste jaoks.


INFICON SKY CDG045D mahutite membraanimõõturid on Oerlikon Leybold CTR 101 saatja otsene asendus. Hankige originaal manufactererist, pakkudes globaalset tuge ja lahendusi kõigile rakendustele.




Kasu


◆ Täielikult kooskõlas CTR 101 saatjatega

◆ Madalam CoO (omandi maksumus), 50% kiiremini soojenemine, energiasäästlik väikese energiatarve

◆ Lihtne integreerimine, lai valik täismassi, äärikuid ja liideseid, standard kahe seatud punktiga

◆ lihtne ühe nupuvajutusega või kaugjuhtimissignaaliga null käsk, reguleeritav nulljoone reguleerimine

◆ Diagnostiline port kiireks hoolduseks ja hoolduseks

◆ Kaheaastane garantii, pikem eluiga koos täiustatud küttesüsteemide ja gabariidikindlusega

◆ Pikaajaline kalibreerimine pole suurepärase signaali stabiilsuse ja korratavuse tõttu isegi karmides plasmarakendustes

◆ Vastavus ja standardid: CE, EN, UL, SEMI, RoHS




TÜÜBILINE TAOTLUS


◆ Etch, CVD, PVD ja teised pooljuhtide tootmisprotsessid

◆ Keemilised ja söövitavad vaakumprotsessid

◆ Üldised õhukese kile ja vaakumprotsessid

◆ Katseseadmete seire standardandur vastavalt rahvusvahelistele standarditele

◆ jälgimismõõtmiste edastamise standard




SPETSIFIKATSIOON


blob.png




Tüüp


1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1Torr / mbar

0,5 ... 0,05 Torr / mbar

Täpsus

% lugemisest

0,15

0,15

0,15

Temperatuuri mõju

nulli

protsent FS / ° C

0,0025

0,0025

0,0025

spaniga

lugemis% / ° C

0,01

0,01

0,01

Resolutsioon

protsent FS

0,003

0,003

0,003

Rõhk, maks.

kPa (absoluutne)

400

260

130

Madalaim lugemine

protsent FS

0,01

0,01

0,01

Madalaim soovitatav

lugemine

protsent FS

0,05

0,05

0,05

Madalaim soovitatav

kontrollrõhk

protsent FS

0,5

0,5

0,5

Temperatuur

Töö (ümbritsev)

° C

+10 ... +40

+10 ... +40

+10 ... +40

Bake out at äärik

° C

≤110

≤110

≤110

Ladustamine

° C

-20 ... +65

-20 ... +65

-20 ... +65

Toitepinge


+14 ... +30 VDC või ±

15 V (± 5%)

+14 ... +30 VDC või ±

15 V (± 5%)

+14 ... +30 VDC või ±

15 V (± 5%)

Energiatarve

Kuumutamise ajal

W

≤12

≤12

≤12

Töötemperatuuril

W

≤8

≤8

≤8

Väljundsignaal (analoog)

V (dc)

0 ... +10

0 ... +10

0 ... +10

Reaktsiooniaeg

Prl

30

30

130/30

Kaitseaste


IP 40

IP 40

IP 40

Standardid

CE vastavus


EN 61000-6-2 / -6-3,

EN 61010 & RoHS

EN 61000-6-2 / -6-3,

EN 61010 & RoHS

EN 61000-6-2 / -6-3,

EN 61010 & RoHS

ETL sertifikaat


UL 61010-1, CSA

22.2 No.61010-1

UL 61010-1, CSA

22.2 No.61010-1

UL 61010-1, CSA

22.2 No.61010-1

SEMI nõuetele vastavus


SEMI S2

SEMI S2

SEMI S2

Elektriühendus


D-sub, 15 pole, isane

D-sub, 15 pole, isane

D-sub, 15 pole, isane

Vali koht





Seadepunktide arv


2 (SP1, SP2)

2 (SP1, SP2)

2 (SP1, SP2)

Relee kontakt

V (dc)

≤30

≤30

≤30

Hüsterees

protsent FS

1

1

1

Diagnostiline port

Protokoll


RS232-C

RS232-C

RS232-C

Loe


surve, staatus, ID

surve, staatus, ID

surve, staatus, ID

Seatud


seatud punktid, filter, null

kohandada, tehaseseadete lähtestamine

DC tasakaalus

seatud punktid, filter, null

kohandada, tehaseseadete lähtestamine

DC tasakaalus

seatud punktid, filter, null

kohandada, tehaseseadete lähtestamine

DC tasakaalus

Kokkupuutunud materjalid

vaakum


lumiiniumoksiidkeraamika

(AI2O3), roostevaba teras (AISI 316L)

lumiiniumoksiidkeraamika

(AI 2 O 3 ), roostevaba teras (AISI 316L )

lumiiniumoksiidkeraamika

(AI 2 O 3 ), roostevaba teras (AISI 316L )

Sisemine maht

1/2 "toru

cm³ (in.³)

4,2 (0,26)

DN 16 ISO KF

cm³ (in.³)

4,2 (0,26)

DN 16 CF-R

cm³ (in.³)

4,2 (0,26)

8 VCR®

cm³ (in.³)

4,2 (0,26)






























































Kuum tags: ühilduvad vaakumõõturid ja kontrollerid cdg045d 0,05 ~ 1000torr / mbar, Hiina, tootjad, tarnijad, ost, kohandatud, valmistatud Hiinas

Küsi pakkumist

(0/10)

clearall