Ioonpumba pumpamiskiirus inertgaasile
Sep 18, 2023| Ioonpumba pumpamise kiirus inertgaasile
Väärisgaaside peamine omadus on see, et neid on raske teiste elementidega reageerida. Seetõttu ei reageeri katoodmaterjali pihustamisel tekkiv kile inertse gaasiga. Lisaks, kuna inertgaasi difusiooniefekt katoodimaterjalis ei ole samuti tugev, on katoodimaterjali sissepritse ja difusiooni tekitatud pumpamiskiirus samuti piiratud. Seetõttu on tavalisel bipolaarsel ioonpumbal inertgaasi pumpamiskiirus väga väike. Väike pumpamiskiirus on tingitud asjaolust, et osa inertgaasi molekule on mattunud pihustatud katoodimaterjaliga. Pärast kokkupõrget katoodiga neutraliseeritakse inertgaasi ioonid molekulideks ja hajuvad katoodilt ilma energiakadudeta ning need inertgaasi molekulid säilitavad piisavalt energiat, et implanteerida/kleepuda anoodile või pumba seinale, kuhu need maetakse. pihustamise teel toodetud katoodmaterjal.
Noble Diode ja StarCell ioonpumpadel on väärisgaaside puhul suurem pumba kiirus, muutes katoodi materjali tüüpi või nurka, mille all ioonid sisenevad, suurendades tõenäosust, et inertgaasid hajuvad anooditorule või pumba seinale ja mattuvad. StarCelli ioonpumba inertgaasi pumpamise kiirus võib ulatuda umbes 20% -ni nominaalsest pumpamiskiirusest, mis on parem kui Noble Diode. Lisaks muudab katoodi spetsiaalne kuju katoodimaterjali kasutamise tõhusamaks ja seetõttu on sellel pikem kasutusiga (umbes 50% kõrgem kui muud tüüpi ioonpumbad).
IKS PVD ettevõte, dekoratiivkatmismasin, tööriistade katmismasin, DLC-katmismasin, optiline katmismasin, PVD vaakumkatmisliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võtke meiega kohe ühendust, e-post: iks.pvd@foxmail.com