Peamised parameetrid, mis mõjutavad pihustust
Jun 09, 2018| 1. pihustamiskünnis
Sihtotstarbelistest aatomitest purustamiseks vajalike juhuslike ioonide minimaalne energiaväärtus ei ole seotud juhtumite ioonide tüübiga, vaid on seotud sihtmärgiga. Kui energiahulk ületab pihustamiskünnise, on pihustuse saak proportsionaalne ioonenergia ruutu väärtusega 150 jõ võrra, kui ioonenergia suureneb ja pihustussisaldus on proportsionaalne ioonide energiale vahemikus 150 ev kuni 1 kev. Vahemikus 1kev ~ 10kev, pihustusjõud muutub veidi. Kui energia taaskasutati, oli pihustuse saagikus langustrend. Järgnevad on mitmete metallide pommitamise erinevad juhuslikud ioonid pihustamiskünnised.
| Metall | Iooni pihustussüsteem / eV | Sublimatsioon Kuum / eV | |||
| Ei | Ar | Kr | Xe | ||
| Ti | 22 | 20 | 17 | 18 | 4,40 |
| Cr | 22 | 22 | 18 | 20 | 5.28 |
| Fe | 22 | 20 | 25 | 23 | 4.12 |
| Cu | 17 | 17 | 16 | 15 | 3.53 |
| Zr | 23 | 22 | 18 | 25 | 6.14 |
| Ag | 12 | 15 | 15 | 17 | 3.35 |
| Au | 20 | 20 | 20 | 18 | 3.20 |
2. pihustusjääk
Pihustusjääk viitab aatomite keskmisele arvule positiivse iooni kohta, mida võib sihtmärgist eralduda, kui juhuslikud ioonid pommitavad sihtmärki. Mõjutavad tegurid hõlmavad peamiselt järgmisi aspekte:
◆ pihustusjõud näitab teatavat perioodilisust sihtmärgi aatomnumbri muutmisega. Sihtkoha d-korpuse elektronide täitemahu suurenemisega suureneb pihustusjõud (ligilähedaselt muutuva trendi).
◆ Juhusliku iooniliigi mõju pihustusjääkidele
Pihustuse saagis suureneb perioodiliselt, suureneb tuumasünteeside arv.
Hõbee, vase ja tantaali pihustatav saagis, mis vastab 45Kevi mitmesugustele juhuslikele ioonidele.
◆ Ioonide esinemise nurga mõju pihustamisele
Sama sihtmärgi ja juhuslike ioonide puhul suureneb pihustusjõud, kui iooni liikumisnurk suureneb. Kui nurk suureneb 70 ° ~ 80 ° -ni, on pihustuse saagis suurim. Jätkake sageduse nurga suurendamist, pihustuse saagis väheneb järsult ja pihustuse saagikus on 900 ° juures.
◆ Sihttemperatuuri mõju pihustamisele
Üldiselt võib temperatuuri vahemikus, kus pihustusjõudu võib pidada sublimatsioonenergiaga tihedalt seotud, pihustusjõud vaevalt temperatuuri muutustega. Kui temperatuur ületab seda vahemikku, suureneb pihustusjääk kiiresti.
