PVD katmisseadmete juhtimissüsteem ja jahutussüsteem
Mar 31, 2018| Drive System
Ajami süsteem võimaldab substraadil voolata substraadist seadmesse sadestumise pihustamiseks, pärast seadme väljastamist seadmest väljumiseks. Ajami süsteem koosneb juhtimismootorist, kerimisratast, sagedusmuundurist ja nii edasi. Ajamisüsteemi lisamise põhjused on järgmised:
(1) Veenduge, et ühtlase paksusega kattekihid oleksid laialt levinud.
(2) Lihtsalt mõistetav automatiseeritud ülekanne.
Jahutussüsteem
Jahutussüsteem koosneb peamiselt tsirkuleeriva vee molekulaarpumbadest, kambrist, pumba rühmitusest ja ajami mootori jahutus ringleva veest. Selle peamine ülesanne on jahtuda vaakumkambri, pumba, ajamite, toiteploki jms jahutusvee nõuded:
(1) Temperatuur: 17 ~ 22 ° C;
(2) Rõhk: 2 ~ 3e0,05 Pa;
(3) Magnetosakesed tuleb eemaldada veest ja vett tuleb pehmeneda, pH = 6 ~ 8.