Molekulaarpumpi struktuur ja skemaatiline skeem

Molekulaarpumbri tuumikomponendid on pöörlevad labad ja statsionaarsed labad (joonis 1). Pöörleva tera pöörlemiskiirus ulatub 1800 kuni 90000 pööret minutis, tera otsa kiirus jõuab mitu meetrit sekundis, mis on molekuli keskmise kiiruse lähedal. Ja gaasimolekulid viiakse kokkupõrkega väljalaskeseadmesse. Kui suurel kiirusel pöörleva pöörleva tera pöörlemise korral on gaasimolekulide liikumise tõenäosus imemise küljest väljalaskepoolele A ja tõenäosus, et gaasimolekulid liiguvad heitgaasiküljest imemise poole on B. Läheb pöörleva teraga gaasimolekulid, seejärel gaasimolekulid jõuavad fikseeritud terasse ja lendavad järgmise pöörleva teraga, lõpuks gaasimolekul väljub väljalaskeavast, muutes A> B heitgaaside funktsiooni saavutamiseks.

Molekulaarpumpade väljalaske kiirus = imemisosa avamisala × 11,6 × A / Bp

Valemis p osutab rõhu suurenemise väärtusele.

Tera nurga suurem, seda suurem on kompressioonikordaja väiksem heitgaasi kiirus. Kui tera nurk on väike, on heitgaasi kiirus madal ja surveaste on suur. Gaasitüüpi peaaegu ei mõjuta molekulaarpumbri heitgaasi kiirus ja pumba lõplik rõhk võib olla 10-8 Pa, kuid heitgaaside kiirus väheneb molekulide / aatomite puhul.

Suurte pöörlemiskiirustega mehhaaniliste pumbadena vajab molekulaarpumbad kõrge tasakaalu ja see on väga habras kuni tahke võõrolluseni. Nii on tavaliselt selle sisselaskeava juures metallfilter. Kui molekulaarpumbad töötavad, võivad lõiketerad kahjustuda, kui rõhk äkki halveneb.

Joonis 1 Molekulaarpumbri struktuur ja skemaatiline diagramm

Tavalised molekulaarpumbad kasutavad laagreid, et tagada terade kiire lõikamine. Kuid uut tüüpi molekulaarpumbad kasutavad magnet levitustruktuuri, mis muudab tera kiiruse pidevaks suurenemiseks ja samal ajal sobib molekulaarpump ultra-kõrgvaakumissüsteemi jaoks ka pikemaks ajaks molekulaarpump.

Võrreldes õliga suletud rootorpumpadega ja turbo-tüüpi kuivpumbadega, on molekulaarpumbad puhtamad töökeskkonnad ja see võib saavutada väga kõrge vaakumtase. Kuid molekulaarsed pumbad ei saa töötada atmosfäärirõhul ja seda tuleb kasutada kombinatsioonis teiste raskesti väljapuhutavate vaakumpumbadega (õliga suletud rootorpumpadega või turbo-kuivpumbaga), mis võivad töötada atmosfäärirõhul. Molekulaarpumbal on keeruline struktuur ja kõrge hind, ja vibratsiooni ajal pöörlemisel.