Mitu Ion-allikat, mida tavaliselt kasutatakse kattekihis

·          Mitu iooniallikat, mida tavaliselt kasutatakse kattekihis

Kuigi on palju ioonkogumi tüüpe, on eesmärk mitte rohkem kui võrgu puhastamine, parandades energiakulu ja moduleerimist plaatkatte pinnal reaktiivse gaasi energia suurendamiseks. Iooni allikas võib märkimisväärselt parandada kile ja maatriksi sidumisvõimet ning parandada ka kile enda kõvadust ja kulumiskindlust. Kui katmisvahendi kulumiskindel kiht on üldiselt suurem ja kihi paksus ühtlane, ei saa kasutada kõrgemaid iooniallikaid, millel on suurem ioonvool ja kõrgem energiatase, näiteks halli iooniallikaks või anoodi iooniallikaks.

Anoodi kihi iooniallikas on sarnane halli iooni allika printsiibile. Kitsas ümmarguse (ristkülikukujulise või ringikujulise) pilu korral rakendatakse töödeldud gaasi iooniseerimiseks anoodi toimel ja tooriku suunas tugevdatud magnetvälja. Anoodkihtide iooniallikat saab teha väga suureks ja pikaks ajaks, eriti sobivad suurede detailide, näiteks klaasi ehitamiseks, katmiseks. Anoodi kihi ioonkõvera ioonvool on ka suur. Kuid ioonivoog on rohkem lahknev ja energia taseme jaotus on liiga lai. Üldiselt kohaldatakse suurte toorikute, klaasi, kulumise, dekoratiivsete detailide suhtes. Kuid täiustatud optilise katte rakendamine ei ole liiga suur.

Kaufman iooni allikaks on ioonikoguse varane rakendamine. See kuulub võrgu ioonikohta. Esiteks tekitab katood ioonkallakambris plasma ja seejärel ekstraheeritakse ioone plasmavahes kahe või kolme anoodvõrega. Selline iooniallikas omab tugevat suunatust ja kontsentreeritud ioonenergia ribalaiust, mida saab vaakumkattes laialdaselt kasutada. Negatiivne külg on see, et katood (tihti volfram) põleb kiiresti reaktsioongaasis ja et ioonivoolu piirid on ebamugavad neile kasutajatele, kes vajavad suuri ioonivooge.

Halli iooniallikas on anood tugevas aksiaalses magnetväljas protsessi gaasioonide koostöös. Selle aksiaalse magnetvälja tugev tasakaalutus eraldab gaasioonide ja moodustab ioonkiire. Kuna aksiaalmagnetvälp on liiga tugev, peab ioonvooluallikaga ioonkiire abil ioonivooge neutraliseerima elektronid. Tavaline neutraliseerimisallikas on volframniit (katood).

Halli iooniallika funktsioonid:

1. Lihtne ja vastupidav;

2. Ioonvool on peaaegu proportsionaalne gaasi vooluga ja saadakse suur ioonvool;

3. Volframniidi kate ulatub üldjuhul välja ja ioonkiire löögi kiirus väheneb, eriti reaktiivsete gaaside puhul, mis tuleb 10 tunni jooksul asendada. Ja tulekahju tekib volframniidi hõõgniit. Volframtraadi defektide lahendamiseks. Seal on pikemad eluea neutraliseerijad nagu väike õõnes katoodi allikas.

Halli iooniallikas on kõige laialdasemalt kasutatav iooniallikas.

Kohaldatav IKS PVD iooni allikatele.

Kui kulumiskindel dekoratiivne kileplastik, kile paksus ning tugev keha liimimine ja ühtlased nõuded ei ole suured. Halli iooniallikas on saadaval. Ioonvool on suur ja ioonenergia tase on kõrge. Kui see on kaetud optilise kilega, on peamine ioonenergia kontsentratsiooni nõue, ioonvool ühtlus. Seetõttu on kõige parem kasutada Kaufmani või raadioniooni allikat ja ECR (elektrontsüklotron) või ICP (induktsioonikomponent) ioonikohtade tingimuslikku kasutamist. Samuti pidage meeles, et tarbekaubad, näiteks halogeentraadid, mis reageerivad gaasi umbes 10 tunni jooksul. Täiustatud iooniallikad, näiteks ICP, võivad töötada pidevalt reageerivates gaasides sadadeks tunniks.

Kaetud lambi alumiiniumfilmid. Kuna tegemist on metallkilega, on muidugi DC magnetronipuhumine hea. Kiirus on kiire. Vahepealne sagedus sobib ühendkihi katmiseks. Kui valite iooniallika, piisab halliioonide allikast. Kuid pöörake tähelepanu lampi suurusele. Üldiselt on ioonideallikaks ümmargune, ioonkäibega kaetud ala on piiratud. Peate katma kõik toorikud ioonkiirgusega. Kui tavaline saunakiirgus on liiga väike, võib kaaluda anoodkihi iooniallikat. Üks põhjus, miks iooni allikad ei kuma, on see, et magnetvälja on liiga nõrk, et vallutada plasma. Seal on mitmesuguseid iooniallikaid, kuid nad toodavad põhimõtteliselt kõigepealt plasma, seejärel ekstraheerivad gaasi ioonid plasmast ja kiirendavad neid ioonkihtideks, siis tagumine nägemine süstib elektronid ja ioonivoogu.