PVD vaakumkatte seadmete aurustamissüsteemi töö
Nov 08, 2017| PVD vaakumkatte seadmete aurustussüsteem tähistab peamiselt kile moodustavat osa, PVD katmismasinal on palju filmi moodustavaid seadmeid, PVD kattekihis on takistuskuumutamine, RF pihustamine, ioonkihtimine ja muud viisid.
Allpool on toodud PVD-kattekihtide vastupidavuse kuumutamise ja elektronpüstoli aurustumise meetodid.
PVD kattekihi vastupanu aurustamine vastavalt selle struktuurile ja tööpõhimõtetele on siiani kõige laialdasemalt kasutatav. PVD kate on kõige laialdasemalt kasutatav aurustamismeetod ja PVD kate on pikim aurustamisviis.
PVD katte töö on:
PVD-ga kaetud volframplaat teeb paadi kuju ja seejärel paigaldatakse kahe elektroodi keskele, soojendatakse juhtivus kattematerjali PVD-le, kui volfram paadi kuumus on kõrgem kui PVD kattematerjali sulamis-, sublimatsiooni- või aurustusmaterjalide puhul, PVD katte tõttu mugavaks toimimiseks, lihtsaks struktuuriks, odavaks. PVD katte elektronpüstoli aurustamine on siiani kõige laialdasemalt kasutatav aurustamisrežiim. PVD kate võib aurustada mistahes PVD kattematerjali.
Sisestatud tiiglis olev kattematerjal viiakse PVD-kattekihina sisse hõõgniidi kuju aurustumisallikaks, PVD-kate, kuna hõõgniidi materjal on volfram, moodustades elektronkiire tõttu elektronkiire, elektronkiire temperatuur on väga kõrge, PVD-kate võib sulatada mistahes kattekihi materjalid maha panna.