(Cr, Ti, Al) N gradientkatte magnetroni pihustussadestamise protsess
Sep 12, 2024| (Cr,Ti,Al)N gradientkatte magnetroni pihustussadestamise protsess
Praegu saab (Cr, Ti, Al) N gradientkatte tüüpilise magnetroni pihustusprotsessi jagada järgmisteks etappideks:
Ioonpihustuspuhastus: Ar-ioonidega pommitamine võib eemaldada substraadi pinnalt lisandeid, nagu oksiidid, ja aktiveerida ka tooriku pinna.
Cr-metallikihi sadestamine: alustage Cr-sihti ja asetage puhas metallist Cr-alumine kiht. Cr-metallikihi ja substraadi vahel on hea sidumisjõud ning Cr-kihi sadestumine võib vältida otsest kontakti N-elemendi ja Fe-maatriksi vahel, kõrvaldada katte tavalised isehelgestuva kihi defektid ja parandada rabedust. kattekihist.
Cr-CrN Järkjärguline üleminekukiht: N2 süstimisel ja N2 voolukiiruse reguleerimisel väheneb järk-järgult Cr-elemendi suhteline sisaldus kattekihis ja N-elemendi sisaldus järk-järgult suureneb, realiseerides nii N-komponendi ülemineku Cr-aluskihi ja CrN-i vahel. kiht , vältides tõhusalt komponentide mutatsiooni negatiivset mõju katte sidumistugevusele ja muutes katte sisemise ja välimise kihi vahelise ülemineku paremaks. Samal ajal võib CrN-kiht parandada ka katte löögikindlust;
Sedimentatsioon CrN- (Cr,Ti,Al) N gradiendi vahekiht: Ti sihtmärk ja Al sihtmärk käivitatakse järk-järgult ning N2 voolukiirust reguleeritakse, et suurendada N-elemendi sisaldust kattekihis ning Al- ja Ti-sisaldust. elementi suurendatakse ka järk-järgult, nii et keskmise kihi koostis muutub gradiendina. Kuna puudub ilmselge järsk liides, saab pinge kontsentratsiooni probleemi katte sees parandada. Sellel on hea mõju katte sisepinge vähendamisele ning katte sidumisjõu ja mehaanilise tugevuse parandamisele.
Sortide sadestumine (Cr,Ti,Al) N pealmine kiht: CrAlTiN pealmine kiht hoiab protsessi parameetrid muutumatuna, sadestumine on ühtlane, tihe ja iga elemendi koostis on stabiilne, kõrvaldades koostise segregatsioonist tingitud defektid ja lõikeriistade ja muude mehaaniliste osade kasutusnõuded.
IKS PVD ettevõte, dekoratiivkatmismasin, tööriistade katmismasin, DLC-katmismasin, optiline katmismasin, PVD vaakumkatmisliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võtke meiega kohe ühendust, e-post: iks.pvd@foxmail.com