DLC täiustatud plasma keemiline aur sadestumine (PECVD)
Jan 15, 2024| DLC plasmaga täiustatud keemiline aurustamine-sadestamine (PECVD) viitab gaasilise süsiniku allikate lagunemisele erinevateks süsinikku sisaldavateks neutraalseteks või ioonrühmadeks (nagu CH3, CH2, CH+, C2 jne) ja aatomiliseks (või ioonseks) vesinikuks (H). , H+) madalrõhu plasmalahenduse kaudu ning süsinikku sisaldavad rühmad pommitatakse ja adsorbeeritakse substraadi pinnale substraadi negatiivse nihke all. Samal ajal võib aatomi vesinik söövitada sp2 süsiniku struktuuri, moodustades seega hüdrogeenitud teemantilaadsed kiled sp2 ja sp3 süsiniku hübriidstruktuuridega. Meetod võib parandada toorgaasi lagunemiskiirust, vähendada sadestustemperatuuri ja saada soovitud kvaliteediga kile, muutes sadestusparameetreid.
IKS PVD ettevõte, dekoratiivkatmismasin, tööriistade katmismasin, DLC-katmismasin, optiline katmismasin, PVD vaakumkatmisliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võtke meiega kohe ühendust, e-post: iks.pvd@foxmail.com