Erapinge klassifikatsioon katteprotsessis

Kallutatud pinge klassifitseerimine katteprotsessis:

1, dc negatiivne eelarvamus
Plasma positiivsed ioonid võivad saada rohkem energiat, laadides toorikule negatiivset alalisvoolu kallutatuspinget. Positiivsed ioonid võivad kiirendada tooriku pommitamist ja suunata mingil määral sihtmärgi pinnalt pritsitud laetud ioonide sadestumist. Alalisvoolu negatiivne kallutatus on katkematu, seega on sellel aluspinnale teatud kütteefekt.
2, dc positiivne eelarvamus
Ioonplaadistuse gaasi väljavoolus on gaasi nukleeerunud osakestel teatud negatiivne potentsiaal. Sellisel juhul on toorik koormatud teatud positiivse eelarvamusega, mis on kasulik filmide ladestumiseks.
3. Impulsi kallutatus
Võnkuv plasma. Plasma tihedust ja temperatuuri saab suurendada, vähendades pulsikoormuse suhet ja suurendades impulsi toiteallika intensiivsust. Pommitamisefekt paraneb igat tüüpi substraatidele (juhtiv ja mittejuhtiv). Selle tulemusena suureneb sekundaarsete elektronide ellujäämisaeg, suureneb kokkupõrke tõenäosus ja suureneb plasma tihedus. Sadestuskiirust saab reguleerida impulsi sageduse ja töötsükli reguleerimisega. Temperatuuri tõusu saab kontrollida impulsi sageduse ja töötsükli reguleerimisega ning kilet saab moodustada madalal temperatuuril, et vältida substraadi algse koe kahjustamist. Mitme kaare puhul on sadestusmäär liiga kiire, seega ei sobi see elektroonikaseadmete ja muu täppistolmiku kile ladestumiseks. Pulsi kallutatuse kasutuselevõttu saab tõhusalt parandada.
4, null kallutatus ja vedrustuse eelarvamused
Katteprotsessis ilma laetud osakesteta (näiteks lihtne aurustumine jne) võib kasutada nullnurka / vedrustuse eelarvamust.
Madala temperatuuriga tooriku (näiteks plastosad jne) katte tolerants, et vältida tooriku deformatsiooni, saab valida null kallutatuse / vedrustuse kallutatuse või valida väikese töötsükli madala amplituudi kallutatuse pinge.

IKS PVD firma, dekoratiivne kattemasin, tööriistade kattemasin, DLC kattemasin, optiline kattemasin, PVD vaakumkatteliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võta meiega kohe ühendust, e-mail:iks.pvd@foxmail.com