Millised on aurumine vaakum kate machine esitatavad tehnilised ja struktuuri?
Jan 29, 2019| Millised on aurumine vaakum kate machine esitatavad tehnilised ja struktuuri?
IKS PVD tehnoloogia, ühendust meiega nüüd, iks.pvd@foxmail.com
I. struktuur nõuded
1 seadme struktuur peaks olema mõistliku paigutus, ilus kuju, lihtne kasutada, lihtne hooldada.
2. struktuur ja suurus seadmed staatiline ja dünaamiline tihendid peavad vastama GB/T 6070 ja JB/T 1090 ~ 1092.
3. vaakum tuleb paigaldada madala ja kõrge vaakum torustik ja kate kamber surve iga osa eraldi mõõta.
4. seadme vaakum üksuse domineerivad difusiooni pump, plaat või külma ka paigaldatakse difusiooni pumba sisselaskeava juures.
5, kate ruum peaks on jälgimine akna, kate protsessi kiirguse seadmete, jälgimine akna peaksid olema varustatud anti ray läätsed.
6, koos küpsetamine seadmed, seal peaks olema temperatuuri mõõtmiseks elektroodi või temperatuuri mõõtmise seade, detaili.
7, pöörlemiskiirust detaili raami pöörleva mehhanismi peaks rahuldama tootedisaini.
8. varustus, mis on varustatud ion pomm seadme või lai valgusvihk low-energy ion algseade on tavaliselt ja stabiilselt töötada üle 30 minuti jooksul toote konstruktsiooninõuded näitajate.
9. kütteseadme volfram traadiga soojusallikana aurustumise peaks olema võimalik teha aurumine aurumine materjali tavaline ja aurustumise protsessi küttekeha geomeetria ei tohiks mõjutada tavaline aurustumist.
10. seadmed aurustumise allikas peaks olema stabiilne ja lihtne reguleerimine ja juhtimine. Tehnilised nõuded aurustumise allikatest (nt vastupanu aurustumise allikad, electron kiire aurustumise allikad, Kiire aurustumise iooniallikad, laser aurustumise allikad, induktiivne aurustumise allikad jne) määratakse kindlaks kooskõlas asjakohaste toote standarditega.
11. Kui seadmed võtab vastu, madal ja kõrge praeguse vastupanu aurustumise allikas, iga aurustumise allikas küttekeha töötab tavaliselt vastavalt pinge 4 v ~ 20V ja vool 50A ~ 180A.
II. nõuded
1. mehaaniline kvaliteet, kvaliteedi ja assamblee kvaliteedi osade ja seadmete osades peavad vastama tootja tehniliste dokumentide sätted.
2. karedust Ra siseruumides pinna kate ja tihendus pind väärtus kuni 1.6um ja vaakum riigi tööpinnad peavad tõhusalt puhastatud ja kuivatatud vaakumis. Kõik liikuvad osad, mehhanismi ja muud meetmed peaksid olema paindlik, mitte kinni, stagnatsioon, lahti, värisemine ja ebanormaalsed hea nähtus, jne.
3. põhiliste osade ja seadmete osad vastavad asjakohased olulised õigusnormid.
4. kvaliteedi tõendavad elektriseadmed peavad vastama tootja tehniliste dokumentide ja tagab ohutuse ja usaldusväärsuse kasutatavate operatsioon.
5. seadme välimus kvaliteet peab olema mitteseotud nõuetele nagu teravad nurgad, servad, bulges ja töötlemata pinnad. Osade ühise pinna serv peaks olema puhas ja isegi ilma ilmse nihestus. Metallosad peaks olema tahke katte ei langenud välja ja rooste ja muude nähtuste, kõikjal tugev tuleks rooste kihi. Seadme pinna kate peaks olema hele ja puhas, ilus, kinnitada, ei ole kadumas, koorimine ja muud nähtused.
6. toodete ostetud seadmed peab olema kooskõlas vastavate tootestandardite ning on kvaliteedisertifikaadid. Isetehtud abimaterjalid seadmetes kasutada ainult pärast uue kontrolli tootja kontrolli osakond.
7. Aurustumine allikatest abistava iooniallikad ja ion pommitamine, tooriku, detaili küpsetamine, detaili eelarvamusi, kile paksus järelevalve ja pööramine leiaks vahendid. Kaup - järgi - kauba silumine ja ühise silumiseks tuleks läbi viia. Detaili kuumutamisel hinnatud temperatuuri vaakum väljas pinnatemperatuur ei tohi ületada 45 kraadi ja liikuvale osale seadmed töötavad normaalselt.