Ülikõrge vaakumsüsteem

Ülikõrge vaakumsüsteem

Difusioonipumba seeria mehaanilise pumba seeria külmalõksu süsteem
Joonisel 5-13 on kujutatud vaakumsüsteem, difusioonipumba seeria kaks vedela lämmastiku külmapüüdurit ning vaakumkamber ja külmapüüdur 6 taluvad 400–450 kraadi küpsemist. Sellel temperatuuril saab eemaldada vaakumkambri seinale ja külmalõksu seinale adsorbeerunud gaasi ning kondenseerunud pumbaõli. Süsteem suudab üldiselt saavutada piirvaakumi 1,33 × 10-7 Pa.

▲ Joonis 5-13 Õli difusioonipumba ülikõrge vaakumsüsteem: 1- Vaakumkamber 2- Termopaari vaakummõõtur 3-BA vaakummõõtur 4- Õlitusklapp {{7} } Ülikõrge vaakumklapp 6,7- külmalõks 8- ionisatsioonivaakummõõtur 9- Difusioonipump 10- esitoru ventiil 11- eesmine lõks 12- Solenoidklapp 13- Mehaaniline pump 14- ülikõrge vaakumtoru ventiil 15- küpsetusseade

IKS PVD ettevõte, dekoratiivkatmismasin, tööriistade katmismasin, DLC-katmismasin, optiline katmismasin, PVD vaakumkatmisliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võtke meiega kohe ühendust, e-post: iks.pvd@foxmail.com