PVD katte paksus ja kontroll
Dec 15, 2018| PVD katte paksus ja kontroll
IKS PVD, PVD vaakumkatte masina tootmine Hiinast, võtke meiega ühendust nüüd, iks.pvd @ foxmail.com
Kattekihi paksus viitab katte välispinnale ja katte all oleva aluspinna pinna vahele, üldiselt 0 ~ 15uumini, on palju avastamismeetodeid, järgnevalt tutvustatakse tavapärasemate meetodite praegust rakendamist: ristlõike meetod, kerakujuline kaubamärgi meetod ja mittepurustavat avastamismeetodit.
1. jao meetod 1.
Sektsioonimeetod on destruktiivne detekteerimismeetod, töödeldavat detaili ei tohi enam uuesti kasutada. Testib töödeldava detaili või proovi piki pinnakatte lõiget, mille mõõtmiseks on 1000 ... 10000 korda mikroskoobi all, mida suurem on suurendustegur, seda väiksem on löök rohkem inimtegureid, seda kõrgem on täpsus. Katte ja substraadi vaheline piir on väga ilmne ja seda on skaalal semis mõõdetav. Lingi lähte- ja lõpp-punktide vaheline kaugus on katte paksus. Kas Mõõtmine on õige või mitte, on õigesti hinnata kattekihi ja põhimiku vahelist piiri, vastasel juhul tekitatakse vigu. Kui kattekihi ja põhimiku vaheline seos on fuzz, ei ole seda mõõtmismeetodit kõige parem kasutada. Üldiselt on see Mõõtmismeetod on intuitiivne ja täpne. Lisaks sellele, kui seda meetodit kasutatakse mõõtmiseks, on parem jälgida sektsiooni, mis peaks olema suhteliselt tasane. Vastasel juhul tuleks teostada käsitsi töötlemine, et teha sektsioon isegi vaatluseks ja mõõtmiseks.
Mõõtmise katmiseks võib kasutada ka õlipeeglit. Lõika proov paigutatakse plastpulbrini pressimiseks, põletamiseks ja moodustamiseks plokkprooviks, seejärel testitakse pinda jahvatatud ja testitav pind jahvatatakse ja tasandatakse. Mõõtmise ajal mõõdetakse häirete vähendamiseks õlist pumbatav õhk objektiivi ja mõõdetud pinna vahel.
2 Ball-kraater
Pallimärkide meetodiks on kasutada kindlat teraskuuli läbimõõtu katte peenestamise pinnal, kattekihil ja maatriksil, mis lihvib kaarele kuuluvat lihvimisseadmeosa. Lihvimisprotsessi nõuded on samad kui pallimärgistuse test, mis mõõdab katte adhesiooni. Pärast palli peenestamist vaadeldakse pilti mikroskoobi all kuvamissüsteemi ja monitori all.
Pallimärgise meetod kahjustab tooriku välimust. Kui tuvastuspunkt pole funktsionaalses piirkonnas, ei mõjuta see tavaliselt selle korduskasutamist. Vigade vältimiseks on siiski vaja artefakti omaniku nõusolekut enne selle meetodiga katsetamist arutada ja selle saamiseks saada.
3 mittepurustavad katsetamine (NDT)
Mittepurustav katsemeetod on töödeldava detaili kattekihi paksuse tuvastamine ilma töödeldavat detaili kahjustamata. On palju mittesüütavaid NDT meetodeid. Üldiselt peavad substraadi ja kattekihi koostis sisaldama mittepurustavaid analüüse või katseproovi, et analüüsida võrdlusandmete andmeid, katses mõõdetakse ja katte koostise koostis võrreldakse põhiproovide plokkidega järeldage katte paksuse teooriat, nii et erinevate põhimike ja katete koostise analüüsi korral tehke mõõtmisprogramm ja seejärel tegelik mõõtmine. Loomulikult saab mõnda vahendit otse mõõta ilma näidisplokke tegemata, kuid viga on suur. Selles osas tutvustatakse peamiselt röntgenfluorestsentsi (XRF).
XRF-i vahend koosneb peamiselt röntgenkiirguse tekitamise allikast ja tuvastussüsteemist. X-ray-toru toodab röntgenkiirte baasil kiirgusid) (mõõdetav kiirgus või kokkupõrkatav detail, mõõdetava detaili iga element on motiveeritud, sekundaarsed X-kiirgused ja sekundaarsed kiirgud, mida eraldavad erinevad elemendid, millel on erilised energiaomadused (see tähendab, et sekundaarse kiirguse tüüpide ja elementide sisu järgi saab energiat iseloomustada). Avastamissüsteem mõõdab nende põnevate sekundaarsete kiirte energiat ja kogust. teisendab tuvastatud energia ja koguse teabe vastavatesse elementidesse ja sisusse, et oleks võimalik tuvastada uuritava tooriku elementide tüüp ja sisu. Kasutades röntgendifluorestsentspõhimõtet, saab iga perioodilise tabeli elementi teoreetiliselt mõõta. Praktilises rakenduses on elemendi efektiivne mõõtepiirkond element 11, naatrium (Na), element 92, uraan (U).
Vastavalt ülaltoodud põhimõtetele analüüsib XRF katte paksuse mõõtmisel vastavalt maatriksi ja katte elementkompositsiooni. Üldiselt on katte elementkompositsioon väga erinev maatriksi omast. Seetõttu saab arvutusprogramm arvutada katte paksuse. Kui mitmesuguste substraatide ja kattematerjalide elementide koostis detekteeritakse eelnevalt eraldi ja salvestatakse arvutiandmebaasis standardina, siis XRF-i tuvastamisel võrreldakse tuvastatud elementide kompositsiooni vastava maatriksi ja katte tüübi leidmiseks standardiga ja hinnatakse liidest katte ja substraadi vahel, et mõõta katte paksust täpsemalt.