Tina/Ti nanomaterjalide poolt arc ioonpindamise mehaanilised omadused

Tina/Ti nanomaterjalide poolt arc ioonpindamise mehaanilised omadused

Tina/Ti mitmekihiliste filmide nano-modulatsiooni tsüklid olid sünteesitud mitme arc ion plaadistuse eri sadestumise parameetritega. Ümbersuunamise perioodi mõju mikrostruktuur, pinna morfoloogia ja TiN/Ti nanomaterjalide mehaanilised omadused olid uurinud skaneerimine elektronmikroskoop (SEM), xp-2 Pink tester, xp-tüüpi nano taandus tester röntgendifraktsiooni (XRD) ja X-ray energia Spektromeeter (EDS). Tulemused näitavad, et tina film koosneb tina ja Ti ja on heterogeenne faasi. Tina/Ti mitmekihiline kile on tihe, sile välimus ja ühtse kuldse värvi. Ümbersuunamise tsükli vähenemisega ja suured osakesed pinnal film vähendada, ja lämmastiku sisaldus suureneb järk-järgult ja kõvadus film esitleb arv.

Viimastel aastatel on füüsilise sadestamine aurufaasist õhuke kile, mis on koostatud kõrge karedus, keemilised performance on stabiilne, ja on saanud hea hõõrdumist võrreldes, kasutatakse laialdaselt lõikeriistad, hallituse, kulumiskindel osad ja sellistes valdkondades nagu Mikroelektroonika, kuid 550 kõrgetel temperatuuridel℃lihtne oksüdatsioon teeniva TiO2, nende tegevust mõjutada.Töötlemise nõudeid parandada, muutub üha enam oluline uurida filmide parem terviklik omadustega. Õhuke filme tulemused on paranenud mõnevõrra parandades protsesside, nagu magnet filtreerimise suured tilgad, komposiit plating filmide optimeerida atribuudid ja lisaks muude metallide, nagu Al, Cr, C, Zr jne. On teatatud kirjanduse struktuuriomadusi mitmekihilised komposiitmaterjalid ja complex liides vahele parandab selle sitkus ja vastupidavus film lõhenemist. Siiski on mõned uuringud selle omaduste praegu. TiN kattega ja mitmekihiline struktuur põhineb käesolev raamat võtab vastu mitme arc ion plaadistuse meetod valmistada TiN/Ti mitmekihilised film, ja vähem kui viis ümbersuunamise perioodi mõju ja tulemuslikkuse.

1. eksperiment

Tina/Ti mitmekihiliste filmide koostasid SA-700 6T multiarc ioonpindamise kiire terasest substraat.

Proovide arv on kiire terasest substraat on 10mm 10mm 15 mm. Esiteks, proovi kiire terasest substraat on lihvitud järjest liivapaber nr 600, nr 900, nr 1200, nr 1500 ja 2000 nr. Seejärel poleeritakse korund mikro-pulber poleerimine masin teha kiire terasest substraat pinnale ilmuvad peegel. Enne kate, proovid olid pestakse, veevaba etanooli ja atsetooni 15 min ja seejärel kuivatatud ja proovi rack kambrisse eesmärgi baasi vahekaugus 300 mm. Tööl, puhas Ti eesmärgi sadestumise film saab süüdata katood eesmärgi kaar, mis aurustatakse kaar. Sadestamise kambri vaakum oli alla 5 pumbatakse 10-3 Pa ja Ar gaasi süstiti kuma ja Pommitamisprotsessi puhastamiseks.

Sest selle hea luumurdude sitkus ja superhard supermodell mõju nanomeetrise mitmekihiline kile on äratanud palju tähelepanu. Nanomeetrise mitmekihiline kile Ti ja tina, summa kõrval kahe kihi paksus on nn ümbersuunamise perioodi ja suhe paksus nimetatakse ümbersuunamise suhe. Üks peamisi modulatsiooni perioodi mõjutab tulemuslikkuse TiN/Ti mitmekihiliste filmide. Eksperimendis, eeldatakse, et kahe õhuke kile depositsiooni on samad, ja tina kiht ja Ti kiht sadestumise ajal suhe on 5:1, st nominaalne ümbersuunamise suhe on 5:1. Ettevalmistamiseks mitmekihiliste Filmid head tööd, see eksperiment, mis on kavandatud andma 4 gruppi proovide alusel sama nominaalne ümbersuunamise suhe erinevate ümbersuunamise perioodidega. Konkreetse katse protsessi parameetrid on esitatud tabelis 1. Esiteks Ar gaasi juurdevool ja N2 voolu kohandati hoiule 50minTiN. Ar gaasi vooluhulga ja surve korrigeeritud tagatisraha 10 minTi. Vaakum tehnoloogiat võrgu (http://www.chvacuum.com/) usub, et samadel katsetingimustel tsükli numbrit muuta muutes aeg anda tina ja Ti tagades, et eksperimentaalse koguaeg ja ümbersuunamise suhe on konstant.

Tabel 1 TiN/Ti mitmekihiliste eksperimentaalse protsessi parameetrid

Röntgenikiirte difraktsioon (XRD), Skaneeriv elektronmikroskoop (SEM), xp-2 Pink tester, xp-tüüpi nano-taandus tester ja X-ray uuriti ümbersuunamise perioodi mõju mikrostruktuur, pinna morfoloogia ja TiN/Ti nanofilms mehaanilised omadused energia Spektromeeter (EDS).

3. Järeldus

(1) film koosneb tina ja Ti ja oli erinevat etappi. Lisaks kasvas optimaalselt tina film mööda (111) tihedalt paigutatud alusele, lennuk-centered cubic struktuuri.

(2) Tina/Ti mitmekihiline kile on tihe, sile välimus ja ühtse kuldse värvi. Ümbersuunamise tsükli vähenemisega ja suured osakesed pinnal film vähendada ja lämmastiku sisaldus suureneb järk-järgult, mis näitab, et Ti ja N2 reageeri järk-järgult täielikult.

(3) toetuste ümbersuunamise perioodi vähenemisega Vickersi kõvadus esitleb kasvanud, ümbersuunamise aja on oluline mõju, sõltub film.

IKS PVD, tööriistad ja mudel pinnakatmise süsteemi, Helista meile nüüd, iks.pvd@foxmail.com