Magnetron sihtala ja koormuse võimsusega ja tegelik kandevõime
Jun 23, 2018| 1. suunatud ala ja koormuse võimsuse vahemikus
(1) ümmarguse tasapinnalised magnetron eesmärgiks energiatihedus on üldjuhul 1 ~ 25 W/cm2.
(2) ristkülikukujulise tasapinnalised magnetron eesmärgiks energiatihedus on üldjuhul 1 ~ 36 W/cm2.
(3) silindriline magnetron eesmärgiks energiatihedus koonilised, tasapinnalised magnetron target (S relv) on üldiselt 40 ~ 50 W/cm2.
2. tegeliku koormuse võimsus Magnetron eesmärgi
Magnetron eesmärgi tegeliku koormuse võimsus on tihedalt seotud ka jahutustingimusi ja soojuse hajumise tingimused eesmärgi, näiteks Pommitamisprotsessi protsessi, film kvaliteedinõuded tegurite kõrval jne. Magnetron eesmärgid võib jagada kahte tüüpi: "suunatud otseselt vesijahutus" ja "sihtkoht kaudse vesijahutus", jahutuse meetodi kohaselt.
Arvestades, et soojuse hajumise tingimused ning pindematerjal halveneb pärast pikaajalist kasutamist, maksimaalne energia otsese vee jahutamiseks eesmärk peaks olema veidi väiksem ülempiiri võimsuse tihedus vahemik arvestades on erinevus soojuse hajumise koefitsient huviliste materjalid ning ülim koormuse võimsus magnetron eesmärgi. Tegelik koormus kaudse vee jahutamiseks eesmärgi saab valida vastavalt umbes poole võimsusega tihedus ülempiiri.
Magnetron eesmärgid (peamiselt Cu, Ag, messing ja Al pronks) "füüsilisest sputtering", magnetron, sputtering sihtmärk on loodud "otsene vesijahutus eesmärgi" üldiselt kasutamisel. Kui tegeliku koormuse võimsus peaks olema suurem kui võimsuse tihedus sihtvahemiku ülemine piir (st > 100 W/cm2 või rohkem).