Kuidas PECVD töötab
Apr 17, 2024| Kuidas PECVD töötab
PECVD meetodit kasutatakse räninitriidi õhukeste kilede kasvatamiseks, kasutades mittetasakaalulise plasma omadusi, st plasma molekulid, aatomid, ioonid või aktiivsed rühmad on samad, mis ümbritsev keskkond, ja mittetasakaalulised elektronid oma väikese massi tõttu, nende keskmine temperatuur võib olla teistest osakestest kaks suurusjärku kõrgem, nii et tavatingimustes on paljude temperatuuride saavutamiseks vaja kõrgeid temperatuure (300 kraadi C -450 kraadi C). reaktsioonid. Sadestamisprotsessi ajal on spetsiaalsetel gaasi NH3 ja SiH4 molekulidel intensiivne termiline liikumine kõrge sagedusega ja põrkuvad üksteisega, et ioniseerida oma molekule ja tekitada seejärel SiNx.
IKS PVD ettevõte, dekoratiivkatmismasin, tööriistade katmismasin, DLC-katmismasin, optiline katmismasin, PVD vaakumkatmisliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võtke meiega kohe ühendust, e-post: iks.pvd@foxmail.com