DLC füüsikalise aurustamise-sadestamise meetod

DLC füüsikaline aurustamise meetod hõlmab vaakumaurustamist, takistuskuumutusaurustamist, induktsioonkuumutusega aurustamist, kuuma katood-ioonplaatimist, kaareioonplaatimist, reaktiivset ioonplaatimist, RF-ioonplaatimist, alalisvoolulahenduse ioonplaatimist jne. Selle silmapaistev omadus on see, et erinevad gaasilahendused viiakse aur-sadestamisse, nii et kogu sadestamisprotsess viiakse läbi plasmas, mis parandab oluliselt osakeste energiat. Ioonkatte kile moodustumise kiirus on kiire, kile aluse side on hea, kilekatte omadus on hea ja seda saab sadestuda madalatel temperatuuridel. Magnetfiltri katoodvaakuumsadestamise (FCVA) tehnoloogia kasutab magnetfiltri pooli, et filtreerida välja kaareallika tekitatud suured osakesed ja neutraalsed aatomid, nii et peaaegu kõik süsinikuioonid jõuavad substraadini ja saab valmistada vesinikuvabu DLC-kilesid. kõrge ladestuskiirusega. Mõned inimesed kasutavad FCVA tehnoloogiat vesinikuvaba süsinikkile valmistamiseks, mille sp3 sideme sisaldus on kuni 90% ja kõvadus kuni 95 GPa ning mille omadused on sarnased polükristalliliste teemantmaterjalidega. Pommitamisprotsess põhineb hõõglahenduse ja katoodpihustamise põhimõttel. Magnetroni pihustusmeetodiks on argooni ioonide Ar kasutamine grafiidi sihtmärkide pihustamiseks alalisvoolu vahesageduse või RF-režiimi kaudu. Pihustatud süsinikuaatomite energiajaotus varieerub sõltuvalt pihustatud ioonide energiast ja liigist. Selle meetodi eelised on madal sadestustemperatuur, lihtne varustus, suur sadestusala ning kõrge vastupidavusega kile ja isolatsioonikile sadestamiseks.

IKS PVD ettevõte, dekoratiivkatmismasin, tööriistade katmismasin, DLC-katmismasin, optiline katmismasin, PVD vaakumkatmisliin, võtmed kätte projekt on saadaval. Võtke meiega kohe ühendust, e-post: iks.pvd@foxmail.com