Difusioonipump
Apr 09, 2020| Difusioonipump
Nagu me kõik teame, on õli difusioonipump selline pump, mida sageli kasutatakse kõrgvaakumisüsteemis. Niisiis, küsimus on selles, millised on meetodid? Meetodid on järgmised: esiteks avaldab difusioonipumba õli hea jõudluse valimine õli difusioonipumba piirrõhule suurt mõju. Kui ei. Kasutatakse 3 difusioonipumba õli, maksimaalne rõhk võib ulatuda ainult 10-5pa; Kui kasutatakse 275 silikoonõli, võib maksimaalne rõhk ulatuda 10–7pa ja õhusurvet saab suurendada 2 suurusjärgu võrra. Teiseks muutub ka pumbatava gaasi osarõhk koos pumbaõli erinevusega, mis on pumbaõli koostise mõju. Seetõttu tuleb ülikõrge vaakumi saamiseks valida hea jõudlusega õli difusioonipump. Kuna difusioonipumba õli on nii oluline, kuidas peaksime seda valima? Difusioonipumbaõli nõuded on järgmised: pumbaõli suhteline molekulmass peab olema suur, toatemperatuuril on madal aururõhk, termiline stabiilsus ja oksüdatsioonikindlus on hea, külmumistemperatuur ja madala temperatuuri viskoossus on madal, mittetoksiline, korrosioonikindlus, hind olema madal. Kõrgsurveõli difusioonipump KASUTAB üldiselt nr. 3 difusioonipumbaõli, ülikõrge vaakumiga KASUTAB silikoonõli, nõuab ülikõrge vaakumsüsteemi ilma süsivesiniketa, difusioonipump KASUTAB fluoriõli. Teiseks tuleks kõrge temperatuuriga küpsetamine läbi viia mõistliku küpsetustehnoloogia abil kasutatava õli difusioonipumba abil ülikõrge vaakumsüsteemi saamiseks, mille eesmärk on vähendada materjali kiirust. Atmosfääris olevad materjalid võivad vaakumis absorbeerida ja absorbeerida gaasi, desorptsioonil eraldub aeglaselt gaasi desorptsiooni kiirendamiseks küpsetamise teel.
Küpsetada? Kõlab lihtsalt, kas pole? Ei, ei, ei, ei, ei, ei, ei, ei, ei, ei. Põhimõte on kõrgem temperatuur on parem, võib kiirendada õhku, aga ka kaaluda, kas materjal peab vastu kõrgele temperatuurile. Küpseta õigel temperatuuril. Tavaliselt metallmaterjalid, näiteks roostevaba teras, küpsetustemperatuur 250 ℃ - 450C; Mittemetallmaterjalide küpsetustemperatuur on 80–100 ℃ . Küpsetusaeg üle 4h - 8h. Äärmiselt kõrge vaakumi küpsetusaeg on üle 24 tunni. Tüüpilise metalliõli difusioonipumpsüsteemi (pärast küpsetamist) ja jääkgaasi komponentide toimimine metalliõli difusioonipumba ülikõrge vaakumsüsteemis. Kolmandaks lisage külmlõksuseade, et vältida pumbaõli tagasivoolu ja viia pumbaõli läbi pumba sisselaskevoolu pumbatava mahuti nähtuseks, mida nimetatakse tagasivooluks. Õli molekulide, mis liiguvad mööda seina pumbatud mahutisse, nähtust nimetatakse pöördmigratsiooniks. Nii tagasivool kui ka tagasikäik mõjutavad vaakumsüsteemi maksimaalset rõhku. Külmalõksu kasutatakse laialdaselt ülikõrge vaakumsüsteemis, see on paigaldatud pumba sisselaskeava ja vaakumkambri vahele. See mitte ainult ei suuda difusioonipumba auru ja osalise jagatud lahuse tagasivoolu tõhusalt hõivata, vaid võib ka auru eemaldada vaakumkamber. Erinevate püünistega ülikõrge vaakumsüsteem. Pärast põhjalikku küpsetamist ja degaseerimist kõrge temperatuuriga 10-8pa ~ 10-10papa (või kõrgemat) võib saada ülikõrge vaakumi. Tavaliselt kasutatav külmlõks on vedela lämmastiku külmlõks, sest vedela lämmastiku temperatuuril on pumba õli aururõhk palju madalam kui ülikõrge vaakumi nõuded. Vedela lämmastiku külmpüünise ülesehitus peab tagama, et püünist läbivad molekulid vastaksid külmale pinnale ja selle struktuur peab olema mõistlik. Pärast vedela lämmastiku külmalõksu paigaldamist vähendatakse õli difusioonipumba pumpamiskiirust mitte rohkem kui 40%.
Pumbatava gaasi vastupidise difusiooni vähendamine on üks teguritest, mis piirab difusioonipumpa ülikõrge vaakumi saamiseks. Gaasi difusioonivastane toime on seotud molekulmassiga. Mida väiksem on mass, seda lihtsam on difusioonivastane toime. Vesiniku vastupidise difusiooni hajutamiseks difusioonipumbal on kaks meetodit: esiteks vähendage heitgaasisurvet difusioonipumba väljundis, kasutades selleks kahte järjestikku paiknevat difusioonipumpa; Teine eesmärk on difusioonipumba sisendtorusse paigaldada vedela lämmastikuga jahutatud titaani sublimatsioonilõks, et hajutada difusioonivastast vesinikku.
IKS PVD Technology (Shenyang) Co, Ltd, PVD vaakumkattemasinate tootja Hiinast, peamine toode
sisaldab: dekoratiivkatte masin, tööriistade katmise masin, optiline pindamismasin, PVD pinnakatteliin. Võtke meiega ühendust.E-post: iks.pvd@foxmail.com
