Vaakumi astme, vaakumpiirkonna ja vaheruumi jaotuse iseloomustus

Vaakumi astme, vaakumpiirkonna ja vaheruumi jaotuse iseloomustus

IKS PVD, me valmistame PVD vaakumkatteseadmeid, võtame meiega ühendust, iks.pvd @ foxmail.come

Vaakumi määramiseks ei ole mõistlik kasutada rõhku, mida on kasutatud vaakumi mõõtmise u-tüüpi manomeetriga.

Üldiselt kasutatakse vaakumsüsteemi korral isotroopse neutraalse gaasi rõhu hüdrostaatilist füüsikalist kogust, et väljendada vaakumi kraadi. Seetõttu langeb vaakumi mõõtmine ainult rõhu mõõtmisele. Erilist tähelepanu tuleks siiski pöörata mõõtmistingimustele, milleks on statsionaarne (juhuslik liikumine), stabiilne ja isotroopne üksik neutraalne gaas piiratud mahutis. Sel juhul on maksimaalse kiiruse jaotus, kosiini hajumise seadus ja hüdrostaatiline rõhukontseptsioon (p = nkT, v = 1 / 4nc, p = ρ gh) objektiivse reaalsusega suhteliselt kooskõlas, vaakumi mõõtmine on suhteliselt lihtne ja lihtne.

Vastavalt vaakumimäära määratlusele on parem vaakumimäära väljendada molekultihedusega n ja ei ole vastuoluline vaakumi määra avaldamine rõhuga. Rõhu mõõtmisel on gaas üldiselt tasakaaluolekus ja vastab kiiruse jaotuse maksimaalsele seadusele, st p = nkT on tõene. Gaasi temperatuur on mõõtmise ajal konstantne, seega on gaasi p rõhk proportsionaalne molekultihedusega n. Teisisõnu, rõhk on molekultiheduse mõõt, nii et vaakumit saab väljendada rõhuna.

Kosmoseuuringutes on uurimisobjektiks lõpmatu ruumi liikumine (1 ~ 10 KMS - 1 või kõrgem) ning keeruka ebastabiilse, integreeritud keskkonna atmosfääri toimel ei ole Max kiiruse jaotamise seadus ja kosiini hajutamise seadus tingimata ka kaotanud algse füüsilise tähenduse, seega on vaakumimõõtmise surve keerulisem ja raskem.

Üldiselt on see populaarne ja seda kasutatakse selleks, et väljendada vaakumi astet rõhuga, kuid see ei ole ainus. Vaakumi määramiseks võib kasutada ka järgmisi parameetreid:

Kui vaakumi tase on väga kõrge, st kui molekultihedus on väga väike, on statistiline kõikumine väga ilmne. Näiteks kui rõhk p = 10-12pa, on statistiline kõikumine suurem kui 5 korda 10-2 ja rõhk on kaotanud oma tegeliku tähtsuse. Seega on mõnel juhul surve ainult teiste koguste suhteline näitaja .

1. Küsimused ja vastused

Vaakumühikud?

Gaasimolekuli kokkupõrkel pinnale määratud gaasi rõhk on gaasimolekuli kokkupõrke hõõrdekomponendi vertikaalse komponendi ajaühiku kiirus, st Pascali pindalaühiku kohta saadud jõud. või Pa.

1 pa = 1 Nm - 2

Masinaehituses on mõnikord pa liiga väike, rõhu väljendamiseks kasutatakse sageli kPa ja MPa. Madal vaakum, mida mõnikord väljendatakse "vaakumprotsentidena", nagu näiteks vesirõnga vaakumpump, kolb vaakumpump ja sirge õhu juurte vaakumpump, mida sageli väljendatakse selles vaakumis. Kui rõhk p> 102Pa, on vaakumprotsent delta.

Kus: p0 - standardne atmosfäärirõhk, Pa

Vaakumi tsoneerimine

Vaakumi mõõtmiseks kasutatava ühikuga saab vaakumi määra kvantitatiivselt väljendada. Praeguseks on vaakumtehnoloogiaga seotud rõhuvahemik jõudnud 20 suurusjärku, et hõlbustada kasutamist, mõnikord on vaja vaid üldjoontes välja tuua üldine vaakumi astme vahemik, mis tavaliselt jaguneb kvalitatiivselt mitmeks piirkonnaks umbes vaakumis. . Piirkondade jagunemise alusel võetakse arvesse gaasimolekulaarse liikumise füüsikalisi omadusi vaakumis ja vaakumpumba ja vaakummõõturi efektiivset tööpiirkonda.

Mis puudutab vaakumpiirkondade jagunemist Hiinas, siis on vaakumtehnoloogia (gb3163-1982) osas sätestatud:

Jäme vaakum, madal vaakum ja kõrge vaakum jagatakse vastavalt gaasimolekulide keskmisele vabale teele võrreldes mahuti iseloomuliku suurusega d. Peamine kaalutlus on see, kas gaasimolekulide kokkupõrge või gaasimolekulide ja seadme seina kokkupõrge mängib olulist rolli füüsiliste nähtuste esinemisel.

Kõrgvaakumi ja ultra-kõrgvaakumi vaheline piir on seatud 10-6Pa. Peamine põhjus on vaakumi füüsilise adsorptsiooni mehhanismi arvestamine. Ainult siis, kui rõhk p <10-6pa on="" ilmne,="" saab="" seda="" saada="" difusioonipumbaga="" ekstraheerimiseks="" ja="" rõhk="" mõõdetakse="" ba="" meetri=""> Ultra-kõrgvaakumi ja ultra-kõrgvaakumi vahelise piiri puhul on see, et statistiline kõikumine (suurem kui 5 * 10-2) esineb siis, kui p <10-12>

Ülaltoodud vaakumpiirkonnad on jaotatud piirkondadeks, mis esindavad rõhu vahemikku, kuna rõhk on endiselt väljendatud kraadides. Madal vaakumis, kõrgvaakumis, väga kõrgvaakumis ja väga kõrge vaakumis on nimetatud rõhk sisuliselt erinev, ainult muude koguste suhteline tähis.

Igas piirkonnas kasutatava vaakumi, vaakumpumba ja vaakumõõturi füüsikalised omadused on esitatud tabelis 1.

Vaakumtehnoloogia arenguga on muutunud ka vaakumi piirkondade jagunemine.